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半導體濺射靶材圓靶（坯）
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半導體濺射靶材圓靶（坯）

產品名稱

高純鈦靶材（靶坯）

生產工藝

軋制、精加工

生產基地

寧波創(chuàng)潤基地

產品規(guī)格

根據(jù)客戶圖紙加工

產品包裝

木盒子

起訂量

1 件

應用領域

 半導體

產品詳情

項目

3N

3N5

4N

4N5

5N

5N5

單位

檢測方法

總純度

≥99.9

≥99.95

≥99.99

≥99.995

≥99.999

≥99.9995

%?[wt]

?

Ag

-

-

1

0.5

0.01

0.01

ppm [wt]

GDMS

Al

-

50

10

3

2

2

ppm [wt]

GDMS

As

-

-

10

1

0.5

0.5

ppm [wt]

GDMS

Au

-

-

1

0.5

0.25

0.25

ppm [wt]

GDMS

B

-

1

-

0.1

0.05

0.05

ppm [wt]

GDMS

Be

-

-

-

0.5

0.5

0.5

ppm [wt]

GDMS

Bi

-

-

-

0.1

0.05

0.05

ppm [wt]

GDMS

Ca

-

-

1

1

0.5

0.5

ppm [wt]

GDMS

Cd

-

-

-

1

0.2

0.2

ppm [wt]

GDMS

Cl

600

10

5

1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Co

-

-

5

1

0.05

0.05

ppm [wt]

GDMS

Cr

-

20

5

1

0.8

0.8

ppm [wt]

GDMS

Cu

-

50

5

2

1

1

ppm [wt]

GDMS

F

-

-

-

15

0.5

0.5

ppm [wt]

GDMS

Fe

700

200

10

7

5

3

ppm [wt]

GDMS

Hg

-

-

-

0.5

0.5

0.1

ppm [wt]

GDMS

K

-

0.1

0.1

0.05

0.05

0.01

ppm [wt]

GDMS

Li

-

0.1

0.1

0.05

0.05

0.005

ppm [wt]

GDMS

Mg

-

1

2

1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Mn

-

10

5

1

1

0.5

ppm [wt]

GDMS

Mo

-

-

4

1

0.05

0.05

ppm [wt]

GDMS

Na

-

-

0.2

0.03

0.03

0.03

ppm [wt]

GDMS

Ni

250

25

5

1

0.5

0.5

ppm [wt]

GDMS

P

-

-

-

1

0.25

0.01

ppm [wt]

GDMS

Pb

-

-

-

1

0.1

0.01

ppm [wt]

GDMS

Pd

-

-

-

0.1

0.1

0.01

ppm [wt]

GDMS

S

-

-

10

10

5

3

ppm [wt]

GDMS

Sb

-

-

7

0.5

0.5

0.05

ppm [wt]

GDMS

Si

200

50

5

2

1

1

ppm [wt]

GDMS

Sn

-

-

5

1

0.5

0.01

ppm [wt]

GDMS

Te

-

-

-

0.5

0.5

0.05

ppm [wt]

GDMS

Th

-

0.001

0.001

0.0005

0.0001

0.0001

ppm [wt]

GDMS

U

-

0.001

0.001

0.0005

0.0001

0.0001

ppm [wt]

GDMS

V

-

-

-

1

1

1

ppm [wt]

GDMS

W

-

-

-

1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Zn

-

-

5

1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Zr

-

-

5

3

1

1

ppm [wt]

GDMS

Ba

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Br

-

-

-

0.5

0.5

0.5

ppm [wt]

GDMS

Ce

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Cs

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Ga

-

-

-

0.5

0.5

0.5

ppm [wt]

GDMS

Ge

-

-

-

0.5

0.5

0.5

ppm [wt]

GDMS

Hf

-

-

-

1

1

1

ppm [wt]

GDMS

I

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

In

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

La

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Pt

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Re

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Rh

-

-

-

0.2

0.2

0.2

ppm [wt]

GDMS

Ru

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Sc

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Se

-

-

-

0.5

0.5

0.5

ppm [wt]

GDMS

Pr

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Nd

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Sm

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Eu

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Gd

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Tb

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Dy

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Ho

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Er

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Tm

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Yb

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Lu

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Os

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Ir

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Pt

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

Tl

-

-

-

0.1

0.1

0.1

ppm [wt]

GDMS

C

200

150

50

30

30

30

ppm [wt]

LECO

H

50

10

5

10

6

6

ppm [wt]

LECO

N

200

100

50

30

30

30

ppm [wt]

LECO

O

800

700

450

300

200

100

ppm [wt]

LECO


高純金屬靶材,PVD鍍膜,CVD鍍膜,薄膜濺射靶材

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